截止2023年6月,中硅高科累計獲授權專利233件(發明專利117件),其中近五年獲授權專利99件,目前在實質審查專利64件(發明專利63件),涉及多晶硅、電子功能材料和新能源等相關產業,其中[生產多晶硅的方法]獲第19屆中國專利金獎。