4月11日，《河南日報》以《打開硅基新世界》為題專版刊登了中硅高科轉型升級發展的專題報道。

　　2023年4月11日《河南日報》

　　全文如下：

　　《打開硅基新世界》

半導體是數字經濟的基石，也是數字化轉型的產業支撐。數字化轉型戰略實施以來，我省制定實施集成電路產業發展行動方案，成立省科學院集成電路研究所，打造河南省集成電路公共研發平臺，產業發展駛入了快車道。以洛陽中硅高科技有限公司（以下簡稱“中硅高科”）為代表的半導體材料企業，在關鍵核心技術攻關、科研成果轉化應用等方面實現了多項突破，多個產品具備進口替代能力，有力支撐了我省電子信息制造業發展。

　　突破卡脖子技術

　　走進位于洛陽市洛龍區的中硅高科，辦公樓一樓大廳內，“擔國家責任 補基礎材料短板”的標語十分醒目。

　　“如今，中國光伏產業領跑世界，光伏用多晶硅的國產化就發軔于中硅高科?！敝泄韪呖聘笨偨浝碲w雄介紹，他們建成了國內第一條具有全部自主知識產權的千噸級多晶硅產業化示范線，有力推動了我國光伏產業的發展。

　　隨著光伏用多晶硅市場的變化，中硅高科又把目光瞄準了半導體級多晶硅。

　　在中硅高科的產品陳列柜里，陳列著大小不一的硅棒，既有光伏多晶硅，也有半導體級多晶硅。同樣是多晶硅，但純度至少相差2-3個數量級。

　　“去除半導體級多晶硅中的雜質，就像在10億人里找1個人?！壁w雄指著多晶硅形象地比喻。半導體級多晶硅可謂行業高地、技術巔峰，國內市場長期被歐美產品壟斷。

　　依靠自主創新，中硅高科在“無路可走”的情況下，硬是闖出了一條路。

　　氫氣制備及純化、合成、氫化、精餾、還原、尾氣回收和后處理……中硅高科的研發人員在經歷無數的計算、對比、推翻、再確定后，終于突破了高純多晶硅還原技術等一系列關鍵技術，生產出合格穩定的電子級多晶硅產品。

　　“短板”變成了轉型升級的“跳板”，企業實現高質量發展，也推動我省硅產業向中高端發展。

　　受益于半導體產業國產替代，中硅高科的電子級多晶硅新產品近年來在國內幾大頭部企業中實現全覆蓋。2022年，中硅高科營業收入同比增長104%，利潤同比增長269%，上繳稅收同比增長156%。

　　持續創新開拓市場

　　走進中硅高科電子氣體制備車間，安靜整潔，但神奇的變化正在反應器里悄然發生。

　　一塊電路芯片的生產過程需要110種電子氣體進行構造和塑形，其中硅基電子特氣占比近半，它的質量直接影響半導體集成電路芯片的質量和性能。

　　但許多氣體國內企業仍無法生產，芯片技術的自主國產化因此也受制于人。

　　以電子級三氯氫硅為例，它是半導體制造過程的關鍵基礎材料，主要應用于硅外延沉積和電子級多晶硅的制造，一度被日本、美國等國企業壟斷。

　　“我們的技術團隊通過近兩年的深入研究，設計出實驗方案，頂住壓力潛心攻關，進行了數百次的研究論證，終于實現產品的制備，打破了國外的技術壟斷?！毖邪l中心劉見華博士說。

　　電子級三氯氫硅逐步打開市場，從最初的公斤級銷售，到現在的單次十幾噸大規模包裝銷售，產品也從外延用戶走向了芯片制造用戶，單個產品實現國內客戶的全覆蓋，逐步實現進口替代。2022年，電子級三氯氫硅銷售達500噸，今年有望突破1000噸。

　　這兩年，中硅高科持續攻克以“硅”元素為基礎的電子氣體，二氯二氫硅、四氯化硅、六氯乙硅烷、四甲基硅烷等產品相繼面世，產品廣泛應用于國內知名芯片企業，部分產品市場占有率已達30%。特別是六氯乙硅烷在國內外12英寸先進集成電路芯片制造廠已形成穩定用戶群體，全球客戶覆蓋率超30%，市場占有率超10%。

　　良好生態助力發展

　　一塊塊散發著金屬光澤的深灰色電子級多晶硅，在中硅高科車間誕生，這是龍門實驗室的重大項目“先進硅基光電功能材料”成果。

　　一年前，瞄準新材料與智能裝備關鍵技術的龍門實驗室成立，中硅高科成為重要成員，在與實驗室的“共舞”中，獲得了更多的智力支持和創新突圍的方向。

　　為進一步完善硅基材料集群化布局，中硅高科謀劃上馬了電子信息材料轉型升級項目。

　　4月9日，記者來到位于洛陽市孟津區的中硅高科新廠區，這里一片繁忙，一個個儲罐、一條條管道勾勒著新工廠的未來。

　　該項目于2021年8月動工，總占地715畝，總投資42億元。經過近兩年的努力，已完成一期工程建設。去年底以來，各種設備陸續進廠安裝，目前正在進行最后的調試。

　　“新項目在4月份試生產，在建設過程中得到了各級各部門的有力支持?！壁w雄說，新項目不僅是一次廠區搬遷，更是一次轉型升級，無論是技術、規模、效益，都將有很大的提升。

　　該項目投產的多個產品有望填補國內高端硅基材料的空白，全部建成后將成為我國重要的區熔級多晶硅、電子氣體等基礎材料的創新中心和基地，為洛陽市打造千億級電子信息產業集群提供有力支撐。

　　項目的效益更是可觀，一期項目投產后可實現銷售收入超5億元，利潤超1億元；二期項目投產后可實現銷售收入超20億元，利潤超5億元；同時帶動下游區熔棒、半導體晶圓等技術進步和產業化建設，打造一個產業鏈協同發展的電子信息材料產業園。

　　“關注一批、研發一批、突破一批”，中硅高科目前正在中試的10種國內完全依賴進口的關鍵基礎性材料已通過測試認證，并完成產業化建設可行性研究論證。

　　“我們將立足集成電路、光通信及新能源行業發展所需高端硅基材料，逐步向相關技術領域延伸，打造國家前瞻性基礎材料創新中心，致力成為世界一流高端基礎材料發展商，引領河南半導體材料產業跨越升級?！壁w雄表示。（《河南日報》記者 陳輝）